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閱讀：5發(fā)布時(shí)間：2025-7-4
掃描電鏡即掃描電子顯微鏡，是目前應(yīng)用比較廣泛光學(xué)儀器，是1965年發(fā)明的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)，其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。下面請看詳細(xì)介紹：
SS-150掃描電鏡
二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像，這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。
掃描電子顯微鏡的制造依據(jù)是電子與物質(zhì)的相互作用。
掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描，激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像，獲得測試試樣表面形貌的觀察。
當(dāng)一束極細(xì)的高能入射電子轟擊掃描樣品表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)可產(chǎn)生電子-空對、晶格振動(dòng)（聲子)、電子振蕩（等離子體）。
背散射電子是指被固體樣品原子反射回來的一部分入射電子，其中包括彈性背反射電子和非彈性背反射電子。
彈性背反射電子是指被樣品中原子核反彈回來的（散射角大于90度）那些入射電子，其能量基本上沒有變化（能量為數(shù)千到數(shù)萬電子伏）。
非彈性背反射電子是入射電子和核外電子撞擊后產(chǎn)生非彈性散射，不僅能量變化，而且方向也發(fā)生變化。非彈性背反射電子的能量范圍很寬，從數(shù)十電子伏到數(shù)千電子伏。
從數(shù)量上看，彈性背反射電子遠(yuǎn)比非彈性背反射電子所占的份額多。 背反射電子的產(chǎn)生范圍在100nm-1mm深度。背反射電子產(chǎn)額和二次電子產(chǎn)額與原子序束的關(guān)系背反射電子束成像分辨率一般為50-200nm（與電子束斑直徑相當(dāng)）。背反射電子的產(chǎn)額隨原子序數(shù)的增加而增加，所以，利用背反射電子作為成像信號(hào)不僅能分析形貌特征，也可以用來顯示原子序數(shù)襯度，定性進(jìn)行成分分析。
掃描電鏡電鏡是由鏡筒、電子信號(hào)收集和處理系統(tǒng)、電子信號(hào)的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)、圖像分辨率高和景深大等特點(diǎn)。目前廣泛應(yīng)用于科研、學(xué)院、動(dòng)植物學(xué)、材料學(xué)、考古學(xué)、地質(zhì)礦物學(xué)、化學(xué)、物理學(xué)、食品行業(yè)、冶金行業(yè)等等。
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