無塵真空烘箱在半導體生產(chǎn)過程中,光刻是集成電路圖案轉移的重要過程環(huán)節(jié)。涂膠的質(zhì)量直接影響光刻的質(zhì)量,涂膠過程也特別重要。在光致抗蝕劑涂覆過程中,大多數(shù)光致抗蝕劑是疏水的,而硅晶片表面上的羥基和殘留的水分子是親水的,這導致光致抗蝕劑和硅晶片之間,尤其是正膠之間的粘附性較差。在顯影過程中,顯影劑將侵入光致抗蝕劑和硅晶片之間的連接,這很容易引起漂白,浮膠等,從而導致光刻圖案轉印失敗,并且濕法蝕刻容易發(fā)生橫向腐蝕。增粘劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種情況。
 

無塵真空烘箱【特點】

  1.機器外殼為不銹鋼SUS304,內(nèi)膽為316L不銹鋼。加熱器均勻地分布在內(nèi)膽的外壁上,內(nèi)膽中沒有電氣附件以及易燃易爆裝置。堅固的雙層玻璃門使您可以一目了然地觀察工作室中的物體。
  2.烘箱門的密封性可以調(diào)節(jié),一體成型的硅橡膠門密封圈確保烘箱內(nèi)的高真空。
  3,微電腦智能溫控儀具有設定,測溫,雙數(shù)字顯示和PID自整定功能,對熱風循環(huán)爐的溫度控制準確可靠。
  4.智能觸摸屏控制系統(tǒng)配有日本三菱PLC模塊,用戶可以根據(jù)不同的工藝條件更改程序,溫度,真空度和每個程序時間。
  5. HMDS氣體被密封并自動吸入和添加,真空箱具有良好的密真空烤箱不加熱封性能,確保了HMDS氣體的泄漏。
  6.整個系統(tǒng)由優(yōu)質(zhì)材料制成,無粉塵產(chǎn)生,適用于100級光刻室凈化環(huán)境。
 

擁有多重超溫保護系統(tǒng)

1. 溫控器停止加熱,無加熱信號輸出。
2. 加熱系統(tǒng)電路的交流接觸器會跳掉,停止加熱管供電。
3. 擁有單套溫度監(jiān)控傳感器(獨立限溫保護器),監(jiān)控烘箱工作室溫度,當?shù)竭_警戒值,會強行關閉加熱系統(tǒng)。

擁有多重電器保護結構和特點

1.長方體工作室,使有效容積達到,微電腦溫度控制器,控溫精確可靠。
2. 鋼化、雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體,一目了然,可向內(nèi)部充入惰性氣體。
3.箱門閉合鬆緊可調(diào)節(jié),一體成型的矽橡膠門封圈,確保箱內(nèi)高真空度。
4.工作室採用不銹鋼板材料製成,確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用,便於清潔。
5.儲存、加熱、試驗和乾燥可在沒有氧氣或者充滿惰性氣體環(huán)境裏進行,不會導致氧化。
6.縮短乾燥時間,與傳統(tǒng)真空乾燥箱相比,乾燥時間減少50%以上。

精準控時功能

采用進口HM品牌數(shù)字顯示溫度控制器雙屏高亮度寬視窗數(shù)字顯示,示值清晰、直觀。微電腦智能控制,設定溫度后,儀表自行控制加熱功率,并顯示加熱狀態(tài),控溫精確而穩(wěn)定。超溫報警并自動切斷加熱電源。有定時功能,定時時間zui長達9999分鐘。
安全保護系統(tǒng):超溫報警,欠相缺相保護,過電流保護,快速熔斷器,接地保護。


箱內(nèi)溫度實時監(jiān)控系統(tǒng)
采用進口六通道溫度記錄儀,彩色屏幕實時精準顯示箱體內(nèi)部6點溫度及曲線,便于監(jiān)控箱內(nèi)溫度;自動存儲溫度數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)追溯,在線讀取,支持U盤導出功能


迴圈程式控制功能:
人性化的操作介面和編程程式,節(jié)約了客戶時間,保證可靠的加熱或乾燥工藝,可以在操作介面直接編程,可預設7段63步可編程式,每段設置時間1-99小時59分,可預置和關機時間。
真空度控制:真空乾燥箱採用數(shù)位技術控制真空度,“手動控制”早已成為歷史,您還認為在21世紀的今天手動真空烤箱不加熱杠桿操作的閥門可以精確控制真空度嗎?通過數(shù)顯真空計自動控制真空度,為您提供更加精確有效的真空度控制。通過面板,可方便地將真空度控制在10~10 5 Pa(達到真空度133Pa)的範圍內(nèi)的任何兩路點間或區(qū)域,控制精度為±1%。真空計採用了電阻矽管壓力感測器,從而保證了穩(wěn)定的壓力值真空烤箱不加熱,不受氣流的影響,把穩(wěn)定的壓力值傳給真空計LED顯示幕上。
溫度控制優(yōu)勢
具有7段63步溫度可編程功能:具有傳統(tǒng)程式控制模式,還可以設置溫度、恒溫時間,含義為“溫度~該溫度恒溫時間”,BPZ-LC更包含斜率模式程式控制,要用“溫度—時間—溫度”格式定義:從某溫度升或降真空烤箱不加熱到另一溫度所需要的時間,從而精準實現(xiàn)升或降溫過程的速率控制。從而使你在整個溫度實驗中,不論升溫、恒溫或降溫每一個過程都實現(xiàn)可控。?


 

 


  一、 本公司提供的售后服務方式
 
  1. 咨詢服務:用戶在使用過程中遇到任何問題,均可致電免費: 咨詢或發(fā)送郵件(1013957606)給我們。
 
  2. 保修服務:保修期內(nèi)的產(chǎn)品,若出現(xiàn)質(zhì)量問題,由當?shù)厥酆蠓罩行奶峁┍P薹?當?shù)責o售后服務中心的,由總公司派遣技術人員到現(xiàn)場維修。
 
  3. 維修服務:維修期內(nèi)的產(chǎn)品,若出現(xiàn)質(zhì)量問題,*免費保修。
 
  二、 用戶自購買日起,在正常使用情況下產(chǎn)品若出現(xiàn)質(zhì)量問題:
 
  1. 一年內(nèi)免費保修,提供技術支持。
 
  2. 部件損壞免費保修一年,超過一年的酌情收取工本費用。
&nbs真空烤箱不加熱p;
  注意:
 
  1. 購買日以送貨單日期為準(送貨單遺失以生產(chǎn)日期為準)。
 
  2. 保修服務只限于一般使用下有效:一切人為損壞(例如用戶自行拆機、進行不適當?shù)倪B接使用、接入不適當電壓的電源、未依說明書使用等)、自然災害等不可抗力、非經(jīng)本公司認可之維修和改裝等均不在免費保修范圍內(nèi);維修服務適當收費。