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技術(shù)文章

凍干機(jī)內(nèi)部的真空硅管起到什么作用

閱讀:133          發(fā)布時(shí)間:2024-9-2

Mks(電容式)真空硅管

利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生形變而引起電容變化的原

理制成的。

測(cè)量頭中有一層彈性膜片,把測(cè)量頭分為兩個(gè)室,一個(gè)是

內(nèi)置的高真空室,另一個(gè)室可以與外界相通。膜片與高真

空室內(nèi)電J構(gòu)成一個(gè)電容器。當(dāng)測(cè)量頭處于大氣壓時(shí),膜

片處于較大壓力下,發(fā)生較大位移,使電容的增大;當(dāng)測(cè)

量頭處于真空狀態(tài)時(shí),膜片壓力減小,位移減少,從而電

容器的電容減小。通過測(cè)量電容大小可以知道真空度。

電容式真空規(guī)管測(cè)量的數(shù)值與氣體的種類無關(guān),與壓力大

小有關(guān),所測(cè)量真空度精度高,可測(cè)蒸氣和腐蝕性氣體。

Mks(電容式)真空規(guī)管測(cè)量的是容器的壓力。

真空規(guī)管安裝在容器的上方,避免工藝粉塵和液體聚集,

遠(yuǎn)離震源.

 

Mks(電容式)真空硅管

工作電壓:DC+/- 15V,輸出:DC 0-10V模擬線性輸出。

膜片的平衡位置(零點(diǎn))對(duì)環(huán)境溫度非常敏感,為了確保薄

膜規(guī)的零點(diǎn)更穩(wěn)定通常在薄膜規(guī)外面加一層控溫裝置,解決

薄膜規(guī)零點(diǎn)漂移大的問題。

零點(diǎn)的設(shè)定可以通過調(diào)整位于規(guī)管上方的零點(diǎn)電位計(jì),在零

點(diǎn)調(diào)整前規(guī)管必須在穩(wěn)定的狀態(tài)下。

MKS規(guī)管在工作前需要預(yù)熱2小時(shí)后才能開始抽真空,剛送電

時(shí),表盤上溫度狀態(tài)燈隨加熱溫度的上升由橙色變成黃色,

正常情況下加熱失敗狀態(tài)燈不應(yīng)該亮(紅燈),亮?xí)r需要檢

.

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