電子氣體是半導體工業(yè)中使用的一類特殊氣體，廣義上的電子氣體是指具有電子級純度的特種氣體，廣泛應用在包括集成電路、顯示面板、半導體照明和光伏等泛半導體行業(yè)。電子氣體按其門類可分為純氣、高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。其中，特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝，高純氣體則主要用作稀釋氣和運載氣。按純度等級和使用場合分類，可以分為電子級、LSI(大規(guī)模集成電路)級、VLSI(超大規(guī)模集成電路)級和ULSI(特大規(guī)模集成電路)級。按用途可分為大宗氣體，包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化碳等；電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、甲烷等氣體。
電子氣體的使用對電子工業(yè)的發(fā)展至關重要，隨著技術的進步，對電子氣體純度和潔凈度的要求也越來越高，需要達到5N(99.9999%)以上的純度，因為即使是痕量級雜質和污染物也會對最終器件質量和制造產(chǎn)量造成嚴重影響。
賽默飛針對電子大宗氣體、電子特氣分析需求，推出高純氣分析解決方案。配置Trace1600系列氣相色譜主機、脈沖放電氦離子檢測器(PDD)、可安裝色譜柱的大體積閥箱、帶吹掃保護氣閥的多閥多柱分析系統(tǒng)等，為用戶提供數(shù)十種電子氣體雜質的檢測方案。
高純氙中雜質分析
氙氣是一種天然稀有的惰性氣體。由于具有較高的密度，低導熱系數(shù)及可吸收X射線等特征，氙氣被廣泛的應用于電子電器，光電工業(yè)，醫(yī)療，電子芯片制造等行業(yè)。近年來隨著氙氣被應用于越來越多高端性產(chǎn)品的生產(chǎn)，行業(yè)對氙氣純度的要求也非常嚴格。
賽默飛Trace GC-PDD系統(tǒng)可對高純氙氣中ppb及至ppm級濃度的氫氣，氬氣，氧氣，氮氣，一氧化碳，甲烷，二氧化碳，氧化亞氮，氪氣，六氟化硫，六氟乙烷等雜質進行定性定量檢測，其靈敏度完全符合GB/T 5828-2006的要求，同時具有優(yōu)異的分離度和重現(xiàn)性。
高純氪中雜質
高純氪無色、無臭、無味、無毒、不可燃的單原子氣體，化學上惰性。廣泛應用于各類照明中，是良好的保護氣和發(fā)光氣。還應用于電真空、激光器、醫(yī)療衛(wèi)生等領域。目前，高純氪主要由大型空分設備從空氣中提取，因其在空氣中含量極少。因此售價高昂，被譽為“黃金氣體”。由于高純氪中雜質組分含量要求極低，脈沖放電氦離子化檢測器(PDD)對痕量雜質組分有很高的靈敏度，被用于做高純氣體中痕量雜質的檢測。
針對以上檢測需求，賽默飛采用Trace 1600系列氣相主機、帶有脈沖放電氦離子檢測器(PDD)、多閥多柱分析系統(tǒng)，實現(xiàn)稀有氣體高純氪中痕量的氫氣，氬氣，氧氣，氮氣，一氧化碳，四氟化碳，甲烷，二氧化碳，氙等9種雜質含量的檢測。方案分離效果好，檢測限低，重復性好，完全滿足標準GB/T 5829-2006 氪氣的檢測要求。
總 結
賽默飛提供模塊化氣相色譜儀(Trace 1600系列)、模塊化PDD檢測器、搭載功能強大的大體積閥箱多閥多柱分析系統(tǒng)，為多種電子氣體中痕量雜質分析提供高效的解決方案。
實現(xiàn)一次進樣，完成樣品中痕量雜質組分的檢測；
方案通過閥放空技術，有效避免了高純基質組分對痕量雜質的干擾；
方案可提供填充柱分析系統(tǒng)或毛細柱分系統(tǒng)，優(yōu)化的毛細柱分析系統(tǒng)實現(xiàn)了樣品氣中微量氬氣和氧氣的基線分離。
此外，賽默飛在電子氣體、高純氣分析領域，為廣大用戶提供更多完全定制化的解決方案，滿足用戶各不相同的檢測需求。
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