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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司
主營產(chǎn)品： 旋片真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,活塞真空泵,雙級旋片真空泵 |
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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司
主營產(chǎn)品： 旋片真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,活塞真空泵,雙級旋片真空泵 |
2017-1-6 閱讀(125)
在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的進(jìn)口真空泵。雅之雷德機(jī)電把它們分成兩類:初級泵和真空泵。初級泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為真空泵抽氣.真空泵用來獲得壓力范圍10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片廠中使用的好凱德真空泵是干性的，意味著其內(nèi)部沒有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤滑劑。
