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東莞市雅之雷德機(jī)電科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 旋片真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,活塞真空泵,雙級(jí)旋片真空泵 |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 旋片真空泵,羅茨真空泵,螺桿真空泵,活塞真空泵,雙級(jí)旋片真空泵 |
2016-10-18 閱讀(209)
好凱德螺桿干式真空泵廣泛應(yīng)用于電子、核能、化工、醫(yī)藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導(dǎo)體工業(yè)中用于生產(chǎn)芯片、制造液晶顯示器、蝕刻、生產(chǎn)PLASMA的CVD制程。
好凱德螺桿干式真空泵具體應(yīng)用主要體現(xiàn)在：干燥處理、真空蒸餾、分子蒸餾、溶劑的回收、油氣回收、工廠普通真空、電子、真空鍍膜、航空、核工業(yè)領(lǐng)域 能夠抽除普通空氣，易燃易爆氣體、腐蝕性氣體，尤其能滿足對(duì)獲得清潔真空要求較高的環(huán)境。
半導(dǎo)體行業(yè)為代表，要求真空泵向被抽空間內(nèi)的返流為零，以保護(hù)工件免受污染。
對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用的真空系統(tǒng)的要求大體分為三個(gè)等級(jí)。
①清潔條件下的抽氣，只抽干空氣或含少許水蒸汽的空氣；
②中等條件下的抽氣，抽除工藝過(guò)程的反應(yīng)氣體，但無(wú)固體顆粒物；
③惡劣條件下的抽氣，抽除化學(xué)反應(yīng)物（有毒甚至致癌）及固體顆粒物。
