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在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。

    真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是：

 

真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用

    （1）開關氣路 如圖1所示，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵?？梢?，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。

    （2）控制氣流大小，調節(jié)真空度在圖1中，調節(jié)閥1的閥蓋開啟角度，即可調節(jié)流經管路的氣流量大??；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節(jié)容器內的真空度。

    （3）定量充氣如圖2所示，在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。

    真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類，其分類見表1。

    真空閥門的型號編制方法國家專業(yè)標準作了規(guī)定，可查閱有關標準。

表1 真空閥門分類