應(yīng)用領(lǐng)域和指標(biāo)要求參考用途用水指標(biāo)參考標(biāo)準(zhǔn)超純材料和超純化學(xué)試劑石英、硅材料生產(chǎn)、加工、提純電子半導(dǎo)體、集成電路板上用到的化工材料電阻率15~18