碳載氮氣純化設(shè)備供應(yīng)商，普氮加熱至一定溫度，其中的殘氧與碳載催化劑提供的碳發(fā)生氧化反應(yīng)：C+O2=CO2，使氣體中的氧含量≤1PPm，再經(jīng)冷卻器降至常溫CO2和水由變壓吸附工藝脫除，塵埃由粉塵精濾器去除，Z終得到高純