
什么是硅晶片生產(chǎn)?
硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像鏡子一樣光亮的圓片,是生產(chǎn)半導(dǎo)體集成電路芯片的原材料。硅晶片生產(chǎn)包括硅單棒生產(chǎn)和硅晶片生產(chǎn)兩大部分,主要工序為:單晶棒生長→單晶棒裁切和檢測→外徑磨削→切片→倒角(圓邊)→研磨/研磨片檢查→蝕刻(化學(xué)蝕刻、PC-CVD、AP-CVD等工藝)→PTA熱處理→背面損傷處理→拋光(ML粗拋、ML精拋)→潔凈→品質(zhì)檢查→潔凈包裝。
從單晶棒生長到外徑磨削為硅單晶棒生產(chǎn)工序,切片以后的流程為硅晶片生產(chǎn)工序。我司專業(yè)承接硅晶片廠凈化工程設(shè)計裝修,以下是硅晶片廠潔凈車間的一般環(huán)境要求。
硅晶片潔凈車間生產(chǎn)工序一般環(huán)境要求
序號 | 房間名稱 | 夏季溫度/℃ | 冬季溫度/℃ | 相對濕度(%) | 凈化級別 | 室內(nèi)噪聲/dB(A) |
1 | 切片潔凈車間 | ≤26 | ≥20 | | 防塵 | ≤70 |
2 | 傾角凈化車間 | ≤26 | ≥20 | | 防塵 | ≤70 |
3 | 研磨片潔凈廠房 | ≤26 | ≥20 | | 防塵 | ≤70 |
4 | 研磨片檢查凈化室 | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 防塵 | ≤65 |
5 | 蝕刻(CP室) | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 7級 | ≤65 |
6 | 爐室(DC爐、JG爐) | 22~26 | 22~26 | | 防塵 | ≤65 |
7 | BSD潔凈車間 | 22~26 | 22~26 | | 防塵 | ≤65 |
8 | 蝕刻(LP-CVD、CP/CVD) | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 6級 | ≤65 |
9 | 拋光(ML室) | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 7級 | ≤65 |
10 | 洗凈室 | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 5級 | ≤65 |
11 | 品質(zhì)檢查潔凈室 | 24±1 | 24±1 | 45±5 | 5級 | ≤65 |
12 | 潔凈包裝凈化車間 | 24±2 | 24±2 | 45±10 | 6級 | ≤65 |
來源:廣州市三匯凈化科技