日本YAMATO雅馬拓-潔凈厭氧高溫氣氛爐 DTN430C/630C/450C/650C
潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐，主要應用于固化半導體晶圓等。
特點
*高工作溫度360℃和500℃。
采用耐熱高性能高效過濾器，可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。
高氣密性的壓力箱構造，氧濃度到達時間短，N2 消耗量極低。
磁密封保持高氣密性，采用水冷機構保護密封部件免受熱量影響。
可實現(xiàn)快速升溫和降溫，升降溫速率可調節(jié)。
標準裝備有廢液回收裝置，對氣體進行冷卻回收。
**性
門檢測開關
溫度過升防止器
氧濃度異常**裝置
氮氣壓力檢測
氮氣流量檢測
冷卻水流量檢測
漏水傳感器
過電流漏電漏電保護開關
