概述

nXDS10i 是下一代無油的干式渦旋泵，并取代 XDS10。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 泵可進行現(xiàn)場維修。

用途

• 一般清潔泵送應用
• 電子掃描顯微鏡 - SEM
• 射束線和高能物理
• 前級渦輪泵
• 速離心機
• 覆層
• 低溫學
• 脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂
• 蒸餾/萃取/過濾
• 冷凍干燥
• 熔爐
• 凝膠體干燥
• 實驗室工作臺上真空
• 激光、氣體回收和再循環(huán)
• 氦檢漏儀
• 負載鎖和傳輸腔
• 稀有氣體再循環(huán)
• 稀有氣體回收
• 冷凍制造
• 旋轉離心蒸發(fā)器
• SEM/FIB（離子束維修）
• 溶劑回收
• 表面科學儀器

nXDS10i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢

• 真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可的清潔和干燥真空，防止交叉污染
• 無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長
• 簡單的單側滾軸布置電機和軸承設計相結合，只需低程度的工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間
• 改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本
• 的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視

數(shù)據(jù)

標稱旋轉速度	1800 rpm
排量	12.7 m3h-1 / 7.5 ft3min-1
峰值抽速	11.4 m3h-1 / 6.7 ft3min-1
極限真空（總壓力）	0.007 mbar / 0.005 Torr
待機旋轉速度	1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示）	1%
轉速時的抽速	7.5
大連續(xù)進氣口壓力	200 mbar
電機功率（一相）	280 W
電源連接器（1 相）	IEC EN60320 C13
保險絲	10A，250Vac rms
重量	25.8 kg / 57 lb
入口法蘭	NW25
排氣口法蘭	NW25
噪音級別	52 dB(A)
入口法蘭處抗振性	< 4.5 mms-1 (rms)
密封性（靜態(tài)）	< 1x10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	10 至 40 °C / 41 至 104 °F