.等離子凈化設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計(jì)概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。 低溫等離子體激發(fā) 本工藝有40支至240支充有特殊氣體的無極管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，國外諸多科研機(jī)構(gòu)室稱在常壓下實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗(yàn)分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無極燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，較大限度地在無極管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有的能量平衡性，在粒子撞擊中失能極少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)的一種能。
 
等離子凈化設(shè)備是根據(jù)不同廢氣配有不同藥劑，采用濕法處理的方法來凈化多種有毒、有害廢氣的一種裝置。它是吸取了泡沫塔、噴淋塔、填料塔等凈化技術(shù)的精華而設(shè)計(jì)的，兼有除塵效果。
 
本裝置已成功地應(yīng)用在：陶瓷廠噴霧干燥塔的尾氣凈化、玻璃窯后的尾氣凈化、各種蒸發(fā)量的燃煤、燃油鍋爐的尾氣凈化、線路板廠噴油車間的廢氣凈化、煉油廠污水循環(huán)水池的廢氣凈化及石油生產(chǎn)廢氣燃燒產(chǎn)生的尾氣凈化。該裝置已完成系列化產(chǎn)品的機(jī)械設(shè)計(jì)和針對(duì)不同廢氣種類、濃度的化學(xué)部分的配方，對(duì)含粉塵濃度較大的尾氣配有預(yù)處理裝置。該裝置系統(tǒng)阻力極小，較之同類型產(chǎn)品要節(jié)省20%以上的動(dòng)力消耗，對(duì)配有引風(fēng)機(jī)向地下煙道排放的廢氣，本裝置有臥式安裝的形式，則無須另配動(dòng)力裝置。