標(biāo)簽:煙臺(tái)集成電路凈化車間,煙臺(tái)凈化工程安裝,煙臺(tái)潔凈廠房,煙臺(tái)凈化設(shè)備
煙臺(tái)承接集成電路凈化車間安裝工程
針對(duì)集成電路生產(chǎn)環(huán)境要求的空氣潔凈度等級(jí)主要取決于集成電路的集成度,不同工序的空氣潔凈度等級(jí)是依據(jù)可能污染的概率和對(duì)器件的潛在故障確定的。
舉個(gè)例子,集成電路前工序潔凈廠房,無塵車間設(shè)計(jì)按加工、生產(chǎn)5英寸硅片、256K集成電路、圖形特形尺雨2.0um,控制粒子粒徑0.2um.
無塵車間空氣潔凈度等級(jí)要求:
光刻、勻膠區(qū) ISO 3級(jí)
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等操作區(qū) ISO 4級(jí)
離子注入、刻蝕CVD、外延、擴(kuò)散等維修區(qū) ISO 6級(jí)
煙臺(tái)承接集成電路凈化車間安裝工程,對(duì)于潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。
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